上海电真空器件专用设备供应信息
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REC系列真空电阻式蒸发镀膜机主要用于在经予处理的塑料、陶瓷等制品表面蒸镀金属薄膜(镀铝、铬、不锈钢等金属)、七彩膜仿金膜等,从而获得光亮、美观、价廉的塑料,陶瓷表面金属化制品。广泛应用于工艺美术、装璜装饰、灯具、家具、玩具、酒瓶盖、女式鞋后跟、汽车反光碗、工艺品、首饰、鞋帽、钟表、手机、DVD、MP3、PDA外壳、按键;化妆品外壳;圣诞礼品等行业。
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REC系列真空电阻式蒸发镀膜机主要用于在经予处理的塑料、陶瓷等制品表面蒸镀金属薄膜(镀铝、铬、不锈钢等金属)、七彩膜仿金膜等,从而获得光亮、美观、价廉的塑料,陶瓷表面金属化制品。广泛应用于工艺美术、装璜装饰、灯具、家具、玩具、酒瓶盖、女式鞋后跟、汽车反光碗、工艺品、首饰、鞋帽、钟表、手机、DVD、MP3、PDA外壳、按键;化妆品外壳;圣诞礼品等行业。
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主要用途 是生产各种金属膜电阻及氧化膜电阻的专用设备,可以完成高、中、低不同阻值的镀膜工艺。
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FE-A系列复合分子泵由涡轮分子泵和盘式牵引泵组合而成,它同时具有涡轮分子泵分子流时抽速大、压缩比高,牵引泵高压强时抽速大、压缩比高的特点,扩展了分子泵的应用范围。 复合分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应,由于对分子量大的气体有很高的压缩比,因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。其广泛应用于光伏、照明、宇航、半导体、能源、军工、激光、家电、材料、汽车等真空技术的各个领域。
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大面积溅射流水线,立式设计,避免了靶材和溅射样品之间的污染问题;传动采用磁流体密封轴承,磁悬浮定位,样品运行稳定,降低了设备真空维护成本,提高了生产效率和产品良品率。导电材料采用旋转靶溅射,材料利用率达到90%;非导电材料采用矩形平面靶非平衡磁场设计,材料利用率达到60%。
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矩形平面阴极设计优点: 1、采用水冷阳极设计 2、2进制工艺气体分布 3、非平衡多跑道磁阵设计 使用特点: 1、适用于DC、RF和Pulsed-DC大功率磁控溅射,提高了溅射薄膜沉积速率; 2、两端非均匀区域更小,提高了材料利用率,高材料利用率阴极,材料利用率达到60%; 3、溅射薄膜厚度均匀性和成份一致性显著提高,可以达到±3%以内; 4、延长使用寿命30%以上; 5、延长了换靶间隔,提高了生产效率。
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圆形阴极设计特点: 1、水冷采用大截面直接水冷结构,缩短磁铁和靶材间距; 2、主体支架采用聚四氟乙烯材料,提高了绝缘性能; 3、所有电的引入部分,采用高纯无氧铜材料,降低了接入电阻分布; 4、磁铁采用高均匀性钕铁硼材料,提高了水平磁场强度和分布均匀性。
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