浙江省电真空器件专用设备供应信息
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1.成膜速度快0.1-50um/min,效率高,用掩模可以获得清晰图形; 2.设备比较简单,操作容易; 3.制成的薄膜纯度高,厚度可较准确控制
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1.成膜速度快0.1-50um/min,效率高,用掩模可以获得清晰图形; 2.设备比较简单,操作容易; 3.制成的薄膜纯度高,厚度可较准确控制 4.薄膜生长机理较简单 5主要结构:真空室;蒸发源;基板;基板加热器及测温计
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