电真空器件专用设备供应信息
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1.成膜速度快0.1-50um/min,效率高,用掩模可以获得清晰图形; 2.设备比较简单,操作容易; 3.制成的薄膜纯度高,厚度可较准确控制 4.薄膜生长机理较简单 5主要结构:真空室;蒸发源;基板;基板加热器及测温计
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1.成膜速度快0.1-50um/min,效率高,用掩模可以获得清晰图形; 2.设备比较简单,操作容易; 3.制成的薄膜纯度高,厚度可较准确控制
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随着低碳经济成为我国经济发展的主旋律,电动汽车作为新能源战略和智能电网的重要组成部分,电动汽车将成为今后中国汽车工业和新能源产业发展的重点,然而电动汽车充电桩的发展是电动汽车普及的重要因数。
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本系列电源专为新能源领域的电动汽车电机实验设计制造,为三相输入,大功率直流输出电源,它可模拟蓄电池对电动汽车电机控制器进行多种功能的实验,并具有良好的保护功能,以确保在各种情况工作时控制器的安全。它配有先进的智能监控接口,可以与上位机连接形成智能监控电源,可对电源的所有参数设定,控制器的实验参数进行实时监控、记录并统计。具有电机处于制动状态时的放电功能,以确保控制器和电源的安全。
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FE-A系列复合分子泵由涡轮分子泵和盘式牵引泵组合而成,它同时具有涡轮分子泵分子流时抽速大、压缩比高,牵引泵高压强时抽速大、压缩比高的特点,扩展了分子泵的应用范围。 复合分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应,由于对分子量大的气体有很高的压缩比,因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。其广泛应用于光伏、照明、宇航、半导体、能源、军工、激光、家电、材料、汽车等真空技术的各个领域。
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大面积溅射流水线,立式设计,避免了靶材和溅射样品之间的污染问题;传动采用磁流体密封轴承,磁悬浮定位,样品运行稳定,降低了设备真空维护成本,提高了生产效率和产品良品率。导电材料采用旋转靶溅射,材料利用率达到90%;非导电材料采用矩形平面靶非平衡磁场设计,材料利用率达到60%。
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矩形平面阴极设计优点: 1、采用水冷阳极设计 2、2进制工艺气体分布 3、非平衡多跑道磁阵设计 使用特点: 1、适用于DC、RF和Pulsed-DC大功率磁控溅射,提高了溅射薄膜沉积速率; 2、两端非均匀区域更小,提高了材料利用率,高材料利用率阴极,材料利用率达到60%; 3、溅射薄膜厚度均匀性和成份一致性显著提高,可以达到±3%以内; 4、延长使用寿命30%以上; 5、延长了换靶间隔,提高了生产效率。
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圆形阴极设计特点: 1、水冷采用大截面直接水冷结构,缩短磁铁和靶材间距; 2、主体支架采用聚四氟乙烯材料,提高了绝缘性能; 3、所有电的引入部分,采用高纯无氧铜材料,降低了接入电阻分布; 4、磁铁采用高均匀性钕铁硼材料,提高了水平磁场强度和分布均匀性。
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1.成膜速度快0.1-50um/min,效率高,用掩模可以获得清晰图形; 2.设备比较简单,操作容易; 3.制成的薄膜纯度高,厚度可较准确控制 4.薄膜生长机理较简单
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