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Cryo-Plex 16低温泵16英寸口径
成熟的低温泵设计 - 高容量和高性能
Cryo-Plex16低温泵是一种高容量低温泵，具有成熟的双级冷头设计（吉福德/麦克马洪原理）高抽速捕捉水蒸汽和气体，实现无油，高和超高真空。Cryo-Plex16低温泵是专为大型真空应用，可靠性，性能和容量是非常重要的。
主要特点与优势
单台低温泵解决方案
单独一台Cryo-Plex16低温泵即可满足容量和性能要求的许多大腔室应用。单台低温泵解决方案简化了安装和维护，提高工作效率和降低总成本，使Cryo-Plex16成为低温泵箱涂层系统，空间模拟室和电子束镀膜系统的最佳解决方案。
工业标准设计
Cryo-Plex16个进口法兰配置符合行业标准的国际标准化组织（ISO）和CVC规格，可无缝集成到现有的工艺设施，方便与其他OEM冷泵交换。
灵活的配置
完备的生产线，低温泵配件支持灵活的配置，以确保可靠性和最佳性能。Cryo-Plex16低温泵基于行业标准或定制设计，可以安全地安装在任何方向。硅二极管或氢蒸汽球（HVB）传感器在第二阶段测量温度，以帮助控制再生过程中（双二极管也可用）。
亮点
· 高容量，高性能的设计
· 可靠的高速无油的高和超高真空
· 二十年的历史，成熟的技术和专业的设计
· 行业标准的兼容性，可无缝集成到现有设施
· 优化的监视和控制（可选）
· 全球销售和24×7支持
· 美国制造
Cryo-Plex 16 技术参数
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气体抽速 (升/)
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空气
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5,000
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水蒸气
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16,000
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氢气
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5,000
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氩气
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4,200
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气体容量 – 标准升
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氩气
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2,500 torr-liters
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氢气@ 5X10-6
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15 torr-liters
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吞吐量
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氩气
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500 scc / minute
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交叉
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300 torr-liters
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物理规格
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重量
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160 lb. (72.7 kg)
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整体高度/法兰标准
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23.2 inches (58.9 cm) /CVC
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23.1 inches (58.7 cm) / ISO
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最大法兰直径/标准
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18.0 inches (45.7 cm) / CVC
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17.7 inches (44.9 cm) / ISO
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进气法兰尺寸 / 标准
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16 inch /CVC
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NW 400 / ISO
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冷却时间(达到 20 K)
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60 Hz
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150 minutes
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