产品分类
产品特点: 1、可连接多个沉积源,沉积源的加载和更换方便; 2、带有可视窗口和易于清洗的钟形玻璃罩; 3、气动升降钟形罩; 4、300 l/s 涡轮泵,爱德华真空泵(RV-8,6.9cfm); 5、可监控沉积速率和沉积厚度; 6、自诊断、集成触摸屏,控制手套箱、钟形罩和蒸镀,包括自动泵、排气和内部诊断; 7、旋转台高度、倾斜度和旋转速率可调,易于观测,方便更换遮罩、基板; 8、4小时内可达到真空度:5*10-7托;
9、对于许多应用,在20-30分钟内,当真空度达到约5*10-5时,开始沉积; 10、根据用户要求订制。