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oxford-instruments ECVD-等离子体增强化学气相沉积90143

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oxford-instruments ECVD-等离子体增强化学气相沉积

|等离子体化学气相沉积（PECVD）Key features 主要特点射频驱动（兆赫兹和/或千赫兹）的顶电极；底（衬底）电极上没有射频偏压衬底直接置于加热电极上气体通过顶电极上的喷淋头式进气口进入反应室工作压强0.5-1.0托功率密度0.02-0.1Wcm-2Benefits 优点和传统的化学气相沉积相比工艺温度更低通过高/低频混合技术可以控制薄膜应力具有结束点控制的等离子体干法清洗工艺减少或杜绝了物理/化学清洗反应室的需要通过工艺条件来控制化学计量提供广泛的材料沉积，包括：氧化硅、氮化硅和氮氧化硅的沉积，它们广泛应用于光子结构、钝化、硬膜等。非晶硅（a-Si：H）具有保形台阶覆盖或无空隙良好台阶覆盖的正硅酸乙酯二氧化硅SiC 碳化硅类金刚石膜

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