当前位置： 国联资源网 > 采购供应商机 > 供应 > 辽宁省化学气相沉积供应信息 > PECVD 磁控溅射镀膜 真空镀膜 化学气相沉积 产品可根据需求定制90236

PECVD 磁控溅射镀膜 真空镀膜 化学气相沉积 产品可根据需求定制90236

产品价格
订货总量
  • 议价
  1. 订货说明-
  2. 库存数量1
    付款方式
  3. 发货地址辽宁省
    交货方式
我要询价 联系商家 查看资质
收藏
产品推荐
沈阳百斯特真空机电设备制造有限公司
国联会员第9年
经营执照：
已认证
真实性：
未核验
进入商铺 在线询盘
主营产品：
经营模式：
-
所在地区：
辽宁省 辽宁省
公司地址：
万莲路1号西门

产品分类
暂无分类

店铺人气产品
参数规则
产品品牌：
产品型号：
产品规格：
产品详情

一、设备简介

　　　 该设备是一台超高真空多功能磁控溅射镀膜及PECVD（射频增强等离子气相沉积）设备。在PECVD沉积室主要用射频增强等离子气相沉积的方法制备各种薄膜。 　　　 本设备的磁控溅射室和PECVD沉积室共用一套真空机组、真空计、流量计、射频电源及温控系统，磁控溅射室和PECVD沉积室可以独立或轮流工作，功能多，性能价格比高。磁控溅射室镀膜时可以采用单靶独立、双靶或三靶组合共溅工作模式，射频直流兼容，溅射方向由下向上，向心溅射。可镀单层膜、多层膜和搀杂膜。

　 二、设备的主要结构及性能

　　　 该设备为双套真空室结构，配置600L/S分子泵机组一套，微机型复合真空计一台，200ml/s质量流量控制器二台，永磁磁控靶共6个，其中3英寸1个、2英寸4个、1.5英寸1个，每个真空室均配有可加热衬底从室温～800℃的自旋转代挡板样品台各一个，配置500W射频电源一套，500W直流电源二套，并在两个真空室分别配置烘烤照明系统各一套。 　　　 多功能磁控溅射镀膜设备主体均为优质不锈钢制造，耐腐蚀、抗污染、漏率小;设备电控部分采用了先进的检测和控制系统，配置了较先进的PLC触摸编程控制电动挡板，为用户做多层膜提供了良好的设备功能保证，且保证了设备各功能的稳定和方便操作。量值准确，性能稳定、可靠；设备布局合理，提高了射频源的利用率和稳定性，减少了对环境的射频干扰；控制面板的设计考虑了美观和适用的结合，使面板操作指示明确，观察舒适、操作方便。 　　　 该设备两个磁控溅射室可共同、也可分别进行镀膜实验工作。每个室的3个磁控靶既可同时溅射镀膜，并可以一次装机进行三种不同镀膜材料的溅射，也可分别单靶镀膜实验。该设备的磁控靶（3英寸）既可镀铁磁材料，也可镀各种导体和非导体材料，对靶材的适用面较宽。并配备了离子清洗装置。由于采用大面积的基片架，有效地吸收了衍射，使镀膜材料纯正，膜层均匀,保证镀膜质量。 　　　 多功能磁控溅射镀膜设备的基片加热温度、靶头与基片的距离、充入气体的流量、基片架的旋转速度、射频电源的输出功率均实现无级调整；基片与靶头的定位精度可达1mm。设备电控部分的显示均采用ＬＥＤ显示方式，数值准确，直观。 　　　 基片的装卡采用插板式，可在机外装卡基片，实现快速更换，减少热能损失和对人体的伤害。 　　　 基片加热采用密封管式灯丝加热，加热速度迅速，均匀，热效率高，而且对真空室无污染。

　 三、主要技术参数:

1、磁控溅射室 　　　 极限真空度: 7*10-5Pa 　　　 工作真空度：7*10-4Pa 　　　 溅射靶位: 3靶位 　　　 基片每次装载数量: 1片 　　　 基片加热温度: 0～800℃ 　　　 充气控制回路: 2路 　　　 设备总功率: 7.8KW 　　　 冷却水用量: 60L/min(单室) 　　　 真空室盖提升高度: 315mm 　　　 真空室盖提升后旋转角度: ±180O 　　　 真空室有效容积: (直径*高)φ450mm*337mm 2、PECVD沉积室 　　　 极限真空度: 8*10-5Pa 　　　 工作真空度：7*10-4Pa 　　　 离子辉光靶1只 　　　 基片每次装载数量: 1片 　　　 基片加热温度: 0～500℃ 　　　 充气控制回路: 2路 　　　 冷却水用量: 60L/min(单室) 　　　 真空室盖提升高度: 315mm 　　　 真空室盖提升后旋转角度: ±180O 　　　 真空室有效容积: (直径*高)φ350mm*285mm 3、总体结构 　　　 设备总功率: 7.8KW 　　　 几何尺寸:主机　 (长*宽*高) 1850mm*925mm*1550mm 　　　 占地面积 (长*宽) 2.8m*1.8m

产品评价
好评度
100%
好评：
中评：
差评：
综合得分
5分
好评：
中评：
差评：
评价与规则
产品符合度：
质量满意度：
售后满意度：
发表评论：
发表
涂料橡塑分类
天然及合成树脂 汽车涂料 前处理液 前处理设备 热喷涂 热塑性弹性体 塑料/橡胶制品 塑料薄膜 塑料管 塑料机械 船舶涂料 天然橡胶 通用塑料 涂料 涂料生产设备 涂装设备 橡胶机械（设备） 颜填料 塑料板 轮胎 成膜物质 电镀耗材 电镀主盐 电镀设备 电刷镀及设备 电刷镀溶液 工程塑料 光整材料 再生塑料 塑料片 塑胶外壳 塑料异型材 母料 塑料包装容器 塑胶容器 合成橡胶 建筑涂料 气相沉积 其他橡塑制品
全国找
安徽 北京 福建 甘肃 广东 广西 贵州 海南 河北 河南 黑龙江 湖北 湖南 吉林 江苏 江西 辽宁 内蒙古 宁夏 青海 山东 山西 陕西 上海 四川 天津 西藏 新疆 云南 浙江 重庆 香港 台湾 澳门 其它 国外
产品相关搜索
1.5KW变频器 0S65774VI 02J611-1门 1.0008P20D 07168896 0800D005BN4HC 1.0045A S6-A-000-P 1-碘己烷 1-溴-3-甲基-2-丁烯价格 1.2寸无缝镀锌管 09CrSuSb材质的钢板用什么材质焊条焊接用ND钢焊条 09CrCuSb耐侯钢焊条 0#航空煤油 045ACS 0330D010BN3HC
求购推荐
评价规则

评价维度：

1）产品符合度
2）质量满意度
3）售后满意度
每项最低1分，最高5分，整数形式。

单个评价的最终得分：

三个维度得分的加权平均值
1）产品符合度——占比20%
2）质量满意度——占比40%
3）售后满意度——占比40%

单个评价的评价属性：

好评4——5分
中评2——4分（不含）
差评0——2分（不含）

产品的整体评价得分：

所有评价得分与评价数量的比值。

产品的整体好评度：

所有评价得分占总分的百分比之和与评价数量的比值。

询价单
填写询价内容
产品：
采购数量
目标单价
元
收货地址
意向截止时间
请选择意向截止时间
补充说明(必填)
我的联系方式
公司名称
姓名
电话
获取验证码
验证码
关闭
在线询盘
点击加载

公众号

小程序

在线客服