CX-910功能性厚镀铜添加剂
一、特点
1、 CX-910是一种功能性镀铜光亮剂、主要应用于连续厚镀酸铜和电铸铜。
2、 该工艺提供具延展性,抗爆裂之半光亮铜镀层,溶液操作简易。
3、 深镀能力强,镀层呈细致晶粒,具优良平整性和低电流区的走位性。
4、 CX-910酸铜光泽剂适用于使用钛蓝阳极的铜槽。
二、镀液组成及操作条件
工 艺 参 数
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范围
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最佳值
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CuSO45H2O
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160-220 克/升
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180 克/升
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H2SO4(b=1.8 g/L)
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70-90 克/升
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80 克/升
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氯离子
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60-80 毫克/升(ppm)
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65 毫克/升(ppm)
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CX-910A铜添加剂
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0.5-1.2 毫升/升
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0.8 毫升/升
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CX-910C铜开缸剂
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4-8 毫升/升
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6 毫升/升
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温度
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20-30 ℃
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23 ℃
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阴极电流密度
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2-6 安培/平方分米
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4 安培/平方分米
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阳极电流密度
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1-3 安培/平方分米
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电压
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0.5-6 V
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搅拌
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均匀的空气搅拌,机械式阴极移动,速度以0.6-1.4米/分钟,并需加以持续性的过滤
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阳极
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置于钛蓝块状磷铜
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阳极袋
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聚丙烯阳极袋
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沉积速率
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在最佳条件下用4安培/平方分米电镀,1小时可达50微米铜厚
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