质谱分析仪器*451502

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特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜，同时又用于扫描电镜能谱分析。

主要特性

l 通过1个真空泵相连，在既可以保证良好镀金镀碳效果的同时，又不会产生碳和金属的任何交叉污染。

l 通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。

l 数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。

l 可使用多种金属靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。

l 独特的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚20nm左右进行多次蒸发，无须切削或调整碳棒形状。

l 使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。

l 使用新型的蒸发装置：电流和电压通过磁控头的传感线监控，蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低，碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作。

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