克瑞斯“钻石”系列低功率直流电源在直流磁控溅射,直流偏压与射频+直流溅射等工艺上有良好的应用,其友好的用户操作界面与多丛控制接口方式,它可为你的生产工艺提供高品质的性能保证。
内置保护
钻石系列低功率直流电源有一套完整的内部保护系统,它包括过压保护,过流保护,过功率保护,以及开路与短路保护,有为真空设备,循环水以及系统互锁设计的输入保护连接。前面板LCD屏幕上有为这些保护提示的报警显示。
本地控制
钻石系列低功率直流电源前面板提供了屏幕菜单,按键以及旋钮,让客户可在前面板上操作电源,选择调节模式以及调整设定值及其它的各种参数
远程控制
钻石系列低功率直流电源提供了多种通讯接口,可以适应客户的不同需求,通讯接口包括:
25针标准0-10V模拟接口
RS232标准数字接口
RS485标准数字接口
profibus标准数字接口
测量
钻石系列低功率直流电源内置了数字精密测量系统,能反馈各种测量值到控制接口,所有的测量值皆显示在前面板的屏幕上,它包括功率值,电压值,电流值以及选定调节模式下的设定值
调节模式
钻石系列低功率直流电源输出模式有:恒电压,恒电流以及恒功率模式,您能通过前面板,模拟接口或数字接口来选择电源不同的输出模式