TG-T1型中频磁控溅射离子镀膜机

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产品品牌：中科唯实

产品型号：TG-T1

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　　本机是采用孪生靶中频磁控溅射、DC磁控溅射、作为强力离化源的空心阴极等技术组成的真空离子镀膜机，真空室为前开门箱式结构，真空室尺寸：400mmX450mmX550mm。极限真空度：5X10-4Pa。

　　主要配置：侧壁装有二个400mmX400mm孪生中频磁控靶，一个400mmX400mmDC磁控靶，空心阴极系统装在顶部和底部。转速可调的可转动工件盘位于真空室底部中央，工件加热器分布在室内后部和前部两侧，工件加热温度达800℃；配10KW中频磁控溅射电源二台，一台10KW的DC磁控溅射电源，一台600V、6KW的偏压电源；一套180A、60V等空心阴极电源。本机可镀各种复合膜，包括功能膜(如研镀喷气蜗轮发动机的蜗轮叶片的功能膜)。抽气系统配F-250分子泵，2X-70机械泵。

　　该机可供大专院校、科研所和工厂作生产和科研等用。

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