TG-S2型小型箱式磁控溅射镀膜机

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产品品牌：中科唯实

产品型号：TG-S2

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　　本机真空室为小型前开门箱式结构，真空室尺寸：Φ250mmX250mm。真空度：5X10-1Pa。主要配置：本机配Φ60mm（RF/DC）磁控靶一套，配DC-500W溅射电源一台；配有基片盘和基片烘烤（200℃）装置；配一套微调阀充气系统、抽气系统配2X—8机械泵。

　　该机真空性能较差，主要供大专院校作教学用。可镀各种单金属膜（如：Ag,Au,Cr.Al,Ti,Ni,Cu等）、合金膜（如：不锈钢、黄铜、NiCr等）、多种介质膜（如：Al2O3,SiO2,ITO等）。

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