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干式分子泵机组JGZF系列是由无油爪泵和无油分子真空泵串联而成,,结合了两种泵的优点,结构紧凑,运行可靠。在爪泵真空度抽到<10Pa后,再启动分子泵,这样可以获得较高的真空度。
广泛用于:真空实验室等特殊无油高真空度环境。用无油爪泵做前级泵,对被抽环境无污染,不返油,维护周期长,且能维持常期稳定的极限压力。
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