钟罩式晶体生长炉

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上海盟庭仪器设备有限公司

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真空应用设备

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本设备采用分体模块化设计，采用钟罩升降结构，炉盖炉体可单独升降打开，炉体，真空系统，电控系统分别模块化式设计，现场三大模块按照平面布置图拼接组合起来，不用每样都分别拆分组装，安装方便快捷，布局整洁大方。 ·主要技术参数

1.***高加热温度： 2000℃

2.功率： 60Kw±10%单相整流

2.冷态极限真空度： ≤5×10E-3Pa

3.压升率： ≤2Pa/h

4.炉体尺寸： Ф750×1000mm（直径×高）

5.测温系统：热电偶

6.控温精度： ±0.1℃，采用欧陆温控仪表

7.加热区：一区

8.坩埚升降参数：位移行程 200mm

慢速升降0.1-10mm/h（伺服控制）精度±0.01mm

快速升降50-200mm/min（伺服控制）

9·炉内充气压力： ≤0.05MPa

10·充放气系统：两路（一路采用电磁阀充放气，一路预留充放气接口）

结构组成

1、炉盖 2、炉体

3、钟罩升降装置 4、发热体和隔热屏

5、真空系统 6、温控系统

7、整流变压器及联接电缆 8、冷却水分配系统

9、坩埚升降系统 10、炉盖升降装置构

成套供应范围

1. 壳体（炉盖、炉体和炉底） 1套

2. 钟罩升降系统 1套

3. 整流变压器 1台

4. 热电偶（钨铼热偶） 2支

5. 控制系统 1套

6. 汇流水管 1套

7.装置 1套

8、炉盖升降装置 1套

9、坩埚升降系统 1套

10、真空系统 1套

11·发热体及隔热屏 1套

12、说明书及技术资料 1份

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