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高真空插板阀 11000 系列
上海伯东美国 HVA 不锈钢 真空插板阀 11000 系列, 手动,气动可选, 满足高真空和超高真空应用, 清洁和高密封性保证 HVA 与, 完美联用.
HVA 不锈钢高 真空插板阀 11000 系列产品特点
高真空和超高真空, 阀门主体和内部组件采用不绣钢材质
阀门口径 DN 16 - 800 mm, 手动或气动驱动
不绣钢焊接波纹管, 标准法兰口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客户定制
常规 200°c 最高 250 °c
坚固耐用, 达到设定的真空度时, 气动阀门自动开闭, 有purge 接口
全部美国设计, 制造, 组装, 原装进口
HVA 高 超真空插板阀 11000 系列技术参数
| 阀门材质: |
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| - 阀门主体 |
304 不锈钢 |
| - 焊接波纹管轴封 |
AM - 350 |
| 阀门密封方式 |
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| - 高真空 |
氟橡胶 |
| - 超高真空 |
铜垫圈 / 氟橡胶 |
| 真空: |
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| - 压力范围 |
高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar |
| - 漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
| - 差压关闭 |
1 bar ( 任意位置 ) |
| - 开启前最大压力 |
≤ 30 mbar |
| 烘烤温度（不含电磁阀）: |
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| - 佛橡胶密封 |
150 °c, 可选配置最大 250 °c |
| - 铜垫圈密封 |
阀门关闭 200 °c, 阀门打开 150 °c |
| - 驱动方式 |
手动 60 °c, 气动 60 °c |
| - 气体 |
80 psig (5.5 bar) |
| - 电磁 |
4.0 Watts |
| - 供电 |
120 VAC 50 /60 Hz |
| - 可选电压 |
24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
| - 位置指示器,最大 |
115 VAC |
| 使用寿命: 100,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定) |
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| 接口: DN 16 - 800 mm |
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美国 HVA 11000 系列高有正面锁定的中心装置或一个软封的气动闸（可选择的) , 阀门保持关闭状态以防空气压力损失, 11000 系列独特的气缸设计保证最低的冲击和振动, 因此特别适合应用于半导体制造和其他要求低振动的敏感加工工业. HVA不锈钢提供了业界最小的内部接口. 阀体和所有内部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr 的真空炉中一体钎焊完成, 确保了阀门的最大完整性,效消除了虚漏和缺陷部分, 阀体变形. 阀门手动, 三种驱动方式可选, 或定制法兰满足不同应用. 美国 HVA 11000 系列可任意位置安装.
HVA 真空插板阀应用案例一
上海伯东客户某大学自主搭建分子束外延与扫描隧道显微镜系统, 采用美国 11000 系列并搭配 Pfeiffer 和 成功分析生长晶体表面结构..jpg)
HVA 真空插板阀应用案例二
美国 HVA 在半导体管道中的应用
半导体管道应用示意图 现场图
HVA 不锈钢 11000 系列组成:
美国 HVA -美国最大制造商. 美国 HVA 原装, 超过50年的高真空和超高设计与制造. 主营高, 广泛应用于半导体, 镀膜, 激光, 科研, 工业等领域. 上海伯东是美国 HVA 在中国地区唯一指定总代理商。
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若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请联络上海伯东邓女士，分机134
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