产品分类
主要特点 碳化硅舟(光伏级)结构稳定,材料热稳定性能好,高温使用不变形,(半导体级)材料纯度高,具有高纯度基体和碳化硅薄膜,避免了杂质引入,减少了工艺制程中对设备环境的污染,有效提高产品品质。 详细说明
光伏行业普遍使用的石英舟托及舟,因其生产工艺和石英材料特性,使用寿命为3-6个月,碳化硅舟托及舟,代替石英,使用寿命可达5年以上,可显著降低使用成本及维护维修停线造成的产能损失。 应用范围
适用于光伏设备,半导体设备中晶圆的关键承载部件。 碳化硅舟应用半导体立式炉,主要应用于高温氧化环节和高温退火环节。
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