美国 KRi 考夫曼离子源 KDC

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德国 Pfeiffer 真空设备 , 美国 KRi 考夫曼离子源 , 美国 HVA 真空闸阀

经营模式：

经销批发

所在地区：

上海浦东新区

公司地址：

上海市浦东新区新金桥路1888号36号楼7楼702室

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Stratasys 3D打印机 inTEST热流仪 HVA阀门美国 KRI 离子源氦质谱检漏仪普发真空泵

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产品型号：KDC

产品规格：KDC

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上海伯东美国原装进口 KDC 系列, 加热灯丝产生电子, 是典型的考夫曼型离子源, 增强设计输出高质量, 稳定的电子流. 美国 KRI 考夫曼公司新升级 Gridded KDC 系列离子源, 新的特性包含自对准离子光学和开关式电源控制. KDC 系列包含多种不同尺寸的满足各类应用. KDC 提供一套完整的方案包含考夫曼离子源, 电子中和器, 电源供应器等等可以直接整合在各类真空设备中, 例如实验室小型研发, 镀膜机, load lock, 磁控溅射系统, 卷绕镀膜机和线性镀膜. 美国 KRI KDC 特性： 通过加热灯丝产生电子低电流高能量宽束型离子源 美国 KRI KDC 应用： 辅助镀膜(光学镀膜) IBAD 溅镀&蒸镀 PC 表面改性, 激活 SM 沉积 DD 离子溅射沉积和多层结构 IBSD 离子蚀刻 IBE

美国 KRI KDC 技术参数：

型号
Discharge 阳极	DC 电流	DC 电流	DC 电流	DC 电流	DC 电流
离子束流	>10 mA	>100 mA	>250 mA	>400 mA	>650 mA
离子动能	100-1200 V	100-1200 V	100-1200 V	100-1200 V	100-1200 V
栅极直径	1 cm Φ	4 cm Φ	7.5 cm Φ	12 cm Φ	16 cm Φ
离子束	聚焦, 平行, 散射
流量	1-5 sccm	2-10 sccm	2-15 sccm	2-20 sccm	2-30 sccm
通气	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型压力	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr
长度	11.5 cm	17.1 cm	20.1 cm	23.5 cm	25.2 cm
直径	4 cm	9 cm	14 cm	19.4 cm	23.2 cm
中和器	灯丝

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产, 和. 美国历经 40 年改良及发展已取得多项成果. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国中国总代理. 若您需要进一步的了解, 请联络伯东叶南晶 1391-883-7267 上海伯东版权所有, 翻拷必究！

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