美国 KRi 考夫曼离子源 KDC 40

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德国 Pfeiffer 真空设备 , 美国 KRi 考夫曼离子源 , 美国 HVA 真空闸阀

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上海浦东新区

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上海市浦东新区新金桥路1888号36号楼7楼702室

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Stratasys 3D打印机 inTEST热流仪 HVA阀门美国 KRI 离子源氦质谱检漏仪普发真空泵

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产品型号：KDC 40

产品规格：KDC 40

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上海伯东代理美国原装进口 KRI 考夫曼 KDC 40: 小型低成本直流栅极. KDC 40 是 3cm 考夫曼型升级款. 具有更大的栅极, 更坚固, 可以配置自对准第三层栅极. KDC 40 适用于所有的离子工艺, 例如预清洗, 表面改性, 辅助镀膜, 溅射镀膜, 离子蚀刻和沉积. KDC 40 兼容惰性或活性气体, 例如氧气和氮气. 标准配置下离子能量范围 100 至 1200ev, 离子电流可以超过 120 mA. KRI 考夫曼 KDC 40 技术参数

型号	KDC 40
阳极	DC 直流
阳极功率	100W
最大离子束流	>100mA
电压	100-1200V
气体	惰性和反应气体
进气流量	2-10sccm
压力	<0.5m Torr
离子光学(自对准)	OptiBeamTM
离子束直径	4cm Φ max
栅极	钼和石墨
离子束形状	聚焦, 平行, 散射
高度	16cm
直径	9cm

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