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离子束刻蚀

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北京东方优成真空技术有限公司
国联会员第11年
经营执照：
已认证
真实性：
未核验
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主营产品：
经营模式：
-
所在地区：
重庆 渝中区
公司地址：
北京海淀区永丰路8号

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参数规则
产品品牌：英菲
产品型号：18
产品规格：
产品详情

操作室

32寸直径，不锈钢，双壁，

多辅助视口水冷

样品台

基板尺寸：3寸5ea单一安装可能性

3寸全晶片&屑样

旋转类型：双旋转行星型

-多种刻蚀角

电动角度设置

离子源&光学

380mm ，考夫曼型

束电压：300 ~ 1,200 eV

束流量：5,000 mA

束均匀度：直径30cm±5%

钼，自对准，凸网格

特征&效益

最大的商业宽束离子源

双壁，水冷室

束光阑：网格直径380mm，考夫曼型

自对准离子光学

双旋转行星型样品台

良好的可重复性

低维护和高吞吐量

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