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SST 系列中频交流磁控溅射电源

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唐山标先电子有限公司
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生产加工
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遵化市新店子镇马店子村西

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SS-T系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式,交流正弦输出。电源输出频率设为典型的40KHZ。中频溅射电源以两个溅射靶作为负载,两个靶交替工作,因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射,使靶材表面积累电荷有的到充分泄放时,有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒,特别适用于反应膜层环境使用。

电源功率范围

10-120KW

输入电源

AC380V三相四线制50-60HZ±10%

输出方式

交流正弦波

输出频率

40KHz

输出电压

空载1000V[有效值]

输出特性

恒流/恒功率

灭弧时间

≤3uS

输出稳定率

1%

冷却方式

2-10KW风冷 10-120KW水冷

使用环境

环境温度 0 -40℃

环境湿度 相对湿度≤85%

空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

冷却水

清洁 不含矿物质及其他可溶性物质

水温 20 -30℃

压力 0.15±0.05Mpa

通讯方式

模拟/RS485/RS232

说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

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