二,上下驱动装置:
1, 真直度:0.15um/100mm(0.2um/300mm)
2, 与回转轴之平行度:0.45um/200mm
3, 移动量:300mm
4, 移动速度:0.5、1、2mm/s(位置决定:5mm/s) 5, 最大测定高度:外径 470mm,内径 320mm
三,R 方向移动装置:
1, 移动量:160mm,最大 20mm/sec
2, 刻度尺:测定范围 160mm,分解能 0.01mm
四,检出器
1, 测定范围:1800um
2, 测定力:100mN 以下可变
3, 探针:尖端半径 0.8mm、超硬
五,演算表示装置:
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1, 测定倍率:100―500000 倍
-
2, 滤波器(filter):
a) 真圆度系(2CR/GAUSSIAN):N15,N50,N150,N500,N15-N500,
无 filter/D15,D50,D150,D500,D15-500,无 filter
b) 真直度系(2CR/GAUSS):fh0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8mm,无filter
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3, 评价法:
a) 真圆度系:MZC、LSC、MCC、MIC四种方式
b) 真直度系:MZL、LSL
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4, 测定项目:真圆度、平面度、圆筒度、同轴度、同心度、直角度(垂直度)、
真直度、平行度、面平行度、偏心度、圆周震动