主要技术参数: 1,符合各种国际规范:
Ra,Rz,Ry,tp,Rmax,Sm,S,Rp,Rv,Rq,Rc,Rsm,Rmr©,Rmr,Rδc,Rδq,Rt,Rsk,Rku,Pa,Pz,Pp,Pu,
Pq,Pc,PSm,Pmr©,Pmr,Pδc,Pδq,Pt,Psk,Pku,Wa,Wz,Wp,Wv,Wp,Wu,Wq,Wc,Wsm,Wmr©,
Wmr,Wδc,Wδq,Wt,Wsk,Wku,Wca,Wcm,Wem,Wea,Rpm,Htp, δq, δa, ,λa,λq,
Rk,Mr1,Mr2,Rqk,Rvk,Rpq,Ruq,Rmq,AR,R,Rx,Rke,Rpke,Rvke.
2,测定范围:纵 600um/横 100mm
3,最大 DATA 数:32,000 点
4,驱动速度:0.05,0.1,0.2,0.5,1.2mm/S,高速移动 5,10mm/S 及手动 5,滤波器(FILTER):高斯/2CR/特殊高斯
6,分解能力:16 BIT
7,自动水平:最小自乘法,2 点法,R 曲线补正,二次曲线补正 8,放大倍率:50,100,200,500,1000,2000,5000,10000,20000,50000,100000,200000, 500000(不用
更换 pick up)
9,COLUMN AND BED: BED W600XD395XH593mm,重量 80KG,花岗石自动定位精度
±0.2um/10 万倍时,检出器上下作动范围 250mm
10,X 轴 Driver unit 具有手动位置调整钮.
11,Z 轴 COLUMN 具有手动位置调整钮.
12,辅助功能:自由排列记录,平均处理,统计处理,中途测定,再演算,检出器登录,自动感度校
正,mm/INCH 切换,自动测定,无演算处理,图形放大缩小,全自动数据解析,pitch 测定,.曲
面补正.注解记录,切欠处理,复数段差解析
13,倾斜调整台:承载面 W50*D160*H44,V 沟(测定方向) 水平倾斜±3 ,垂直倾斜±3 Y 方向移
动量±3mm
14,驱动装置:真直度精度 0.2um/100mm,驱动长度 100mm
15,检出器:R2um,0.75mN(金刚石) 振幅 10um,驱动速度 0.1mm/sec 时,追随特性最小间隔,可达
0.77um.
16,Remote controller RC-84 具有显示屏幕.
17,尺寸重量:测定装置部:W600*D315*H593 68KG