喷涂氧化铌靶材 Spray NbOx Target
产品说明
以等离子体为热源将Nb2O5粉末加热到熔融或半熔融状态并高速冲击背管表面形成致密涂层,从而制备出高纯度、高致密度NbOx靶材。
项目 Item参数 Specifications检测手段 Testing method纯度 Purity≥99.9% 密度 Density≥4.7 g/cm3 阿基米德密度仪
Archimedes densimeter杂质含量
Impurities
Ta: ≤200 ppm
Si: ≤80 ppm
Fe: ≤80 ppm
Al: ≤30 ppm
W: ≤30 ppm
Cu: ≤30 ppm
杂质总和 (Total impurity):≤1000 ppm化学分析
Chemical analysis电阻率 Electrical resistivity≤0.2 Ω∙cm四探针电阻率仪
建议功率
15 kw/m
背管材质
-选用304/316L不锈钢(无磁)。
靶材尺寸Dimension
-按照图纸要求加工
应用领域
-主要用于LOW-E镀膜玻璃,薄膜太阳能电池电极膜系,TFT-LCD,半导体电子。