喷涂氧化钛/氧化锆靶材 Spray TiOx/ZrOx Target
产品说明
以等离子体为热源将相应粉末加热到熔融或半熔融状态并高速冲击背管表面形成致密涂层,从而制备出高纯度、高致密度TiOx,ZrOx靶材。
氧化钛靶材TiOx target项目 Item参数 Specifications检测手段
Testing method纯度 Purity≥99.9% 密度 Density≥4.0 g/cm3阿基米德密度仪
Archimedes densimeter杂质含量
ImpuritiesSiO2: ≤100ppm
P2O5: ≤10 ppm
SO2: ≤60 ppm
Cu: ≤18 ppm
Fe: ≤80 ppm
杂质总和 (Total impurity): ≤1000 ppm化学分析
Chemical analysis
电阻率 Electrical resistivity≤50 mΩ∙cm四探针电阻率仪
Four probe resistivity meter
氧化锆靶材ZrOx target项目 Item参数 Specifications检测手段 Testing method纯度 Purity≥99.9% 密度 Density≥5.4 g/cm3 阿基米德密度仪
Archimedes densimeter杂质含量
Impurity content
Al: ≤100 ppm
Cr: ≤50 ppm
Ti: ≤100 ppm
Fe: ≤200 ppm
杂质总和 (Total impurity): ≤1000 ppmICP电阻率 Electrical resistivity≤0.5 Ω∙cm四探针电阻率仪
Four probe resistivity meter
背管材质
-选用304/316L不锈钢(无磁)。
靶材尺寸
-按照图纸要求加工
应用领域
-光学玻璃AR膜系
-LOW-E镀膜玻璃
-工具镀膜和装饰镀膜