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快速冷却加热系统

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北京东方优成真空技术有限公司
国联会员第11年
经营执照:
已认证
真实性:
未核验
主营产品:
经营模式:
-
所在地区:
北京 海淀区
公司地址:
北京海淀区永丰路8号

产品分类

暂无分类
参数规则
产品品牌:英菲
产品型号:0
产品规格:
产品详情

最大基板尺寸

200×150×(0.5~10)nm

操作室

铝合金石英玻璃窗水冷

加热源

多区卤素灯

有热交换器的风机灯空气冷却

高达800的高温版本

冷却源

N2Ar,液态N2

低至300的低温版本

温度控制

K型热电偶(<1200

高温计(<1200),校准系统(选择)

快速数码PID温度控制器

泵系统

有水分净化器的转子泵(<400/分钟)

气路控制

三个可控制流量的过程气体管道

操作系统

组态软件

全自动系统

安全联锁系统
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2)质量满意度——占比40%
3)售后满意度——占比40%

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