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快速冷却加热系统

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北京东方优成真空技术有限公司
国联会员第11年
经营执照：
已认证
真实性：
未核验
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主营产品：
经营模式：
-
所在地区：
北京 海淀区
公司地址：
北京海淀区永丰路8号

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参数规则
产品品牌：英菲
产品型号：0
产品规格：
产品详情

最大基板尺寸

200×150×(0.5~10)nm

操作室

铝合金石英玻璃窗水冷

加热源

多区卤素灯

有热交换器的风机灯空气冷却

高达800℃的高温版本

冷却源

N2，Ar，液态N2

低至300℃的低温版本

温度控制

K型热电偶（<1200℃）

高温计（<1200℃），校准系统（选择）

快速数码PID温度控制器

泵系统

有水分净化器的转子泵（<400升/分钟）

气路控制

三个可控制流量的过程气体管道

操作系统

组态软件

全自动系统

安全联锁系统
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评价维度：

1）产品符合度
2）质量满意度
3）售后满意度
每项最低1分，最高5分，整数形式。

单个评价的最终得分：

三个维度得分的加权平均值
1）产品符合度——占比20%
2）质量满意度——占比40%
3）售后满意度——占比40%

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