产品分类
最大基板尺寸
200×150×(0.5~10)nm
操作室
铝合金石英玻璃窗水冷
加热源
多区卤素灯
有热交换器的风机灯空气冷却
高达800℃的高温版本
冷却源
N2,Ar,液态N2
低至300℃的低温版本
温度控制
K型热电偶(<
高温计(<1200℃),校准系统(选择)
快速数码PID温度控制器
泵系统
有水分净化器的转子泵(<400升/分钟)
气路控制
三个可控制流量的过程气体管道
操作系统
组态软件
全自动系统
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