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离子沉积系统

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北京东方优成真空技术有限公司
国联会员第11年
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已认证
真实性：
未核验
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主营产品：
经营模式：
-
所在地区：
北京 海淀区
公司地址：
北京海淀区永丰路8号

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参数规则
产品品牌：英菲
产品型号：1
产品规格：
产品详情

操作模块（室）

模块组成: 过程和传输模块

材料:SUS304 /电抛光

源

靶材料:金属氧化物、氮化物、半导体

靶尺寸:6寸(可选)

源类型:

-RF离子源

-RF离子束辅助源

-晶片均匀性:6寸直径 误差±2%

衬底架

供热能力:可达600℃(均匀性±5%)

Z方向运动行程: 0 ~ 100mm

转速:可达50 r/min

样品大小:6寸晶片,150 mm x 150 mm玻璃(可选)

泵系统

低真空: 油旋片泵

高真空泵:涡轮分子泵

High Vacuum pump:

最大承受压强：≤ 1.0 X 10-6托

气体操作

气流控制: Ar, O2, N2

阀门控制:气动阀

系统控制

操作系统:

基于人机界面软件/ PLC过程控制,

完全自动化的系统,安全联锁系统

源控制:

-离子束能量供应

-配套盒装的1000W射频发生器

气体控制:MFC控制器

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