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集群溅射系统

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北京东方优成真空技术有限公司
国联会员第11年
经营执照：
已认证
真实性：
未核验
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主营产品：
经营模式：
-
所在地区：
北京 海淀区
公司地址：
北京海淀区永丰路8号

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参数规则
产品品牌：英菲
产品型号：2
产品规格：
产品详情

操作模块（室）

模块组成:共溅射沉积模式

盒式室容量:最大可容纳6寸晶片

源

溅射源：3~6寸磁控溅射源(特高压&高压类型)

晶片均匀性: 6寸直径的晶片 误差±3%

衬底架

供热能力:可达500℃(均匀性±5%)

Z方向运动行程: 0 ~ 80mm

转速:可达50 r/min

射频功率供应:

7个1000 W射频电源

5个2000 W直流电源

泵系统

最大承受压强：PM1,2,3 ≤ 1.0 X 10-7Torr, PM4 ≤ 5X 10-8托

系统控制

操作系统:

基于人机界面软件/ PLC过程控制,

完全自动化的系统,安全联锁系统

系统性能

可实现分离4室内溅射沉积同步进行

通过射频/直流切换开关可以自由变换能源供应方式

多达13个射频/直流磁控溅射来源

6寸晶片有良好的薄膜均匀性

完全自动化的操作系统

可根据客户要求进行特殊配置

程序特性

显示集群溅射系统和工艺条件

完全自动化控制系统

对于仪表和用户设有安全联锁系统

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