产品分类
操作模块(室)
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模块组成:共溅镀沉积模式
装填闭锁室容量: 完全自动化晶片传输系统
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源
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溅射源:三个6寸磁控溅射源(高压类型)
晶片均匀性: 6寸直径的晶片 误差±5%
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衬底架
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供热能力:可达500℃(均匀性±5%)
Z方向运动行程: 0 ~
转速:可达50 r/min
射频电源: 1000 W射频电源
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泵系统
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最大承受压强:≤ 1.0 X 10-6托
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气体操作
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气流控制: Ar, O2, N2
阀门控制:气动阀
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系统控制
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操作系统:
基于人机界面软件/ PLC过程控制,
完全自动化的系统,安全联锁系统
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单价($)
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