产品分类
操作模块(室)
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模块组成: 过程,传输和DMA模块
材料:SUS304 /电抛光
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源
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激光类型:Nd-YAG PIV激光系统
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衬底架
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靶材料:金属氧化物等
靶运动:X,Y,Z方向、旋转(可选)
偏压:直流15kv
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泵系统
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低真空: 油旋片泵
高真空泵:涡轮分子泵
最大承受压强:40分钟内1.0 X 10-6托
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气体操作
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流量控制: O2/2SLM, Ar/10SLM, He/1SLM, N2/20SLM
阀门控制:气动阀
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系统控制
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操作系统:
PLC程序与开关/触摸屏,PC
显示器:触摸显示器(12.1寸) / LCD (17寸)
源控制: PC控制激光发生器系统
衬底控制:
-Z方向运动与直流电机
-使用温度控制器控制伺服电机的加热和循环
气体控制: PC控制MFC
真空控制:个人电脑接口节流阀控制器
安全:全部安全联锁
软件:手动控制
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