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激光烧蚀系统

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北京东方优成真空技术有限公司
国联会员第11年
经营执照:
已认证
真实性:
未核验
主营产品:
经营模式:
-
所在地区:
四川省 成都市
公司地址:
北京海淀区永丰路8号

产品分类

暂无分类
参数规则
产品品牌:英菲
产品型号:12
产品规格:
产品详情

操作模块(室)

模块组成: 过程,传输DMA模块

材料:SUS304 /电抛光

激光类型:Nd-YAG PIV激光系统

衬底架

靶材料:金属氧化物等

靶运动:X,Y,Z方向、旋转(可选)

偏压:直流15kv

泵系统

低真空: 油旋片泵

高真空泵:涡轮分子泵

最大承受压强:40分钟内1.0 X 10-6

气体操作

流量控制: O2/2SLM, Ar/10SLM, He/1SLM, N2/20SLM

阀门控制:气动阀

系统控制

操作系统:

PLC程序与开关/触摸屏,PC

显示器:触摸显示器(12.1) / LCD (17)

源控制: PC控制激光发生器系统

衬底控制:

-Z方向运动与直流电

-使用温度控制器控制伺服电机的加热和循环

气体控制: PC控制MFC

真空控制:个人电脑接口节流阀控制器

安全:全部安全联锁

:手动控制

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